Yüksek-hassasiyetteki sensörlerin temel ilkesi, ölçülen miktarı hassas tasarım, gelişmiş üretim süreçleri, karmaşık sinyal işleme algoritmaları ve sıkı hata telafisi teknikleri yoluyla hassas, kararlı ve güvenilir bir elektrik sinyaline dönüştürmektir. Yüksek hassasiyete ulaşmanın temel yönleri şunlardır: temel algılama ilkelerinin optimizasyonu, yüksek-performanslı malzemeler ve hassas yapılar, gelişmiş üretim süreçleri (MEMS gibi), düşük-gürültü, yüksek-hassasiyetli elektronik devreler, sıcaklık telafisi, doğrusal olmama ve doğrusallaştırma, kalibrasyon ve standardizasyon, dijital sinyal işleme ve parazit bastırma ve koruma. Temel fikir, tüm olası hata kaynaklarını derinlemesine anlamak ve ölçmek ve donanım ve yazılımın işbirlikçi tasarımı yoluyla bu hataları aktif olarak ortadan kaldırmak veya telafi etmektir.
Hassas üretim ve denetim alanında, mikron düzeyinde algılama için GT2-P12KL kalem-tipi temas sensörü gibi, yüksek-hassasiyetli yer değiştirme, boyut ve yüzey topografyası ölçümleri için yüksek-hassasiyetli sensörler kullanılır.
Proses kontrolü ve izleme alanında, kimya ve enerji endüstrileri gibi zorlu endüstriyel ortamlarda, OMEGA'nın PX409 serisi yüksek-hassas basınç sensörleri gibi, basınç, sıcaklık ve akış hızı gibi önemli proses parametrelerinin son derece güvenilir bir şekilde izlenmesi için yüksek-hassasiyetli sensörler kullanılır.
